ដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាសម្រាប់ប្រព័ន្ធចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ដំណើរការ Semiconductor

បច្ចេកវិទ្យាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺជាផ្នែកមួយដ៏សំខាន់នៃប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ក្នុងការបញ្ជូនឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលត្រូវការដល់ចំណុចនៃការប្រើប្រាស់ ហើយនៅតែរក្សាបាននូវគុណភាពដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់។បច្ចេកវិជ្ជាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមមានការរចនាប្រព័ន្ធត្រឹមត្រូវ ការជ្រើសរើសឧបករណ៍ និងគ្រឿងបន្លាស់ ការសាងសង់ និងការដំឡើង និងការសាកល្បង។ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ តម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងកាន់តែខ្លាំងឡើងលើខ្លឹមសារនៃភាពបរិសុទ្ធ និងភាពមិនបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការផលិតផលិតផលមីក្រូអេឡិចត្រូនិចដែលតំណាងដោយសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំបានធ្វើឱ្យបច្ចេកវិទ្យាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់មានការព្រួយបារម្ភ និងសង្កត់ធ្ងន់កាន់តែខ្លាំង។ខាងក្រោមនេះគឺជាទិដ្ឋភាពសង្ខេបនៃបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ពីការជ្រើសរើសសម្ភារៈof ការសាងសង់ ក៏ដូចជាការទទួលយក និងការគ្រប់គ្រងប្រចាំថ្ងៃ។

ប្រភេទនៃឧស្ម័នទូទៅ

ចំណាត់ថ្នាក់នៃឧស្ម័នទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច:

ឧស្ម័នទូទៅ(ឧស្ម័នច្រើន)៖ អ៊ីដ្រូសែន (H₂₎, អាសូត (N₂) អុកស៊ីសែន (O₂), argon (A₂) ជាដើម។

ឧស្ម័នពិសេសគឺ SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,សហ,C₂F_6, N2O,F_2,អេហ្វអេហ្វ,HBR SF₆……។ល។

ប្រភេទនៃឧស្ម័នពិសេស ជាទូទៅអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ថាជាសារធាតុច្រេះឧស្ម័ន, ពុលឧស្ម័ន, ងាយឆេះឧស្ម័ន, ងាយឆេះឧស្ម័ន, inertឧស្ម័នល។ ឧស្ម័ន semiconductor ដែលប្រើជាទូទៅត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ដូចខាងក្រោម។

(i) ច្រេះ / ពុលឧស្ម័ន៖ HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, ភី₃, Cl₂, BCl₃…ល។

(ii) ភាពងាយឆេះឧស្ម័ន៖ ហ₂, CH₄, SiH₄, ភី₃, AsH3, SiH₂Cl₂, ខ₂H₆, CH2F_2,ឈ₃F, CO...។ល។

(iii) ភាពងាយឆេះឧស្ម័ន៖ ឱ₂, Cl₂, ន₂អូ NF₃… ល។

(iv) និចលភាពឧស្ម័ន: ន₂, CF₄, គ₂F₆, គ₄F_8,អេសអេហ្វ₆, សហ₂, Ne, Kr, He... ។ល។

ឧស្ម័ន semiconductor ជាច្រើនមានគ្រោះថ្នាក់ដល់រាងកាយមនុស្ស។ជាពិសេស ឧស្ម័នទាំងនេះមួយចំនួនដូចជា SiH ជាដើម។₄ ្រំមហះដោយឯកឯង ដរាបណាការលេចធ្លាយនឹងមានប្រតិកម្មហឹង្សាជាមួយអុកស៊ីសែននៅក្នុងខ្យល់ហើយចាប់ផ្តើមដុត។និង AsH₃ពុលខ្លាំង ការលេចធ្លាយបន្តិចបន្តួចអាចបណ្តាលឱ្យមានគ្រោះថ្នាក់ដល់អាយុជីវិតមនុស្ស វាគឺដោយសារតែគ្រោះថ្នាក់ជាក់ស្តែងទាំងនេះ ដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សុវត្ថិភាពនៃការរចនាប្រព័ន្ធគឺខ្ពស់ជាពិសេស។

វិសាលភាពនៃការប្រើប្រាស់ឧស្ម័ន  

ក្នុងនាមជាវត្ថុធាតុដើមសំខាន់នៃឧស្សាហកម្មទំនើប ផលិតផលឧស្ម័នត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ ហើយឧស្ម័នទូទៅ ឬឧស្ម័នពិសេសមួយចំនួនធំត្រូវបានប្រើប្រាស់ក្នុងលោហធាតុ ដែក ប្រេង ឧស្សាហកម្មគីមី គ្រឿងម៉ាស៊ីន អេឡិចត្រូនិច កញ្ចក់ សេរ៉ាមិច សម្ភារៈសំណង់ សំណង់។ វិស័យកែច្នៃចំណីអាហារ ឱសថ និងផ្នែកវេជ្ជសាស្ត្រ។ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ទៅលើបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃវិស័យទាំងនេះ ជាពិសេស និងជាឧស្ម័នវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចខ្វះបាន ឬឧស្ម័នដំណើរការ។មានតែជាមួយនឹងតម្រូវការ និងការលើកកម្ពស់នៃវិស័យឧស្សាហកម្មថ្មីៗផ្សេងៗ និងវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប ផលិតផលឧស្សាហកម្មឧស្ម័នអាចត្រូវបានអភិវឌ្ឍដោយលោតផ្លោះ និងព្រំដែនទាក់ទងនឹងភាពខុសគ្នា គុណភាព និងបរិមាណ។

ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័ននៅក្នុងឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច និងគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក

ការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នតែងតែដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការ semiconductor ជាពិសេសដំណើរការ semiconductor ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ ចាប់ពី ULSI ប្រពៃណី TFT-LCD រហូតដល់ឧស្សាហកម្មមីក្រូអេឡិចត្រូនិច (MEMS) បច្ចុប្បន្ន។ ដែលប្រើអ្វីដែលគេហៅថាដំណើរការ semiconductor ជាដំណើរការផលិតផលិតផល។ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានផលប៉ះពាល់ជាការសម្រេចចិត្តលើដំណើរការនៃសមាសធាតុ និងទិន្នផលផលិតផល ហើយសុវត្ថិភាពនៃការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នគឺទាក់ទងទៅនឹងសុខភាពរបស់បុគ្គលិក និងសុវត្ថិភាពនៃប្រតិបត្តិការរោងចក្រ។

សារៈសំខាន់នៃបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការដឹកជញ្ជូនឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

នៅក្នុងដំណើរការនៃការរលាយដែកអ៊ីណុក និងផលិតសម្ភារៈ ឧស្ម័នប្រហែល 200g អាចត្រូវបានស្រូបក្នុងមួយតោន។បន្ទាប់ពីការកែច្នៃដែកអ៊ីណុក មិនត្រឹមតែផ្ទៃរបស់វាស្អិតជាមួយនឹងសារធាតុកខ្វក់ផ្សេងៗប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែនៅក្នុងបន្ទះដែករបស់វាក៏បានស្រូបយកឧស្ម័នមួយចំនួនផងដែរ។នៅពេលដែលមានលំហូរខ្យល់តាមបំពង់បង្ហូរ លោហៈដែលស្រូបយកផ្នែកនៃឧស្ម័ននេះនឹងចូលទៅក្នុងលំហូរខ្យល់ឡើងវិញ ដែលធ្វើអោយបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធ។នៅពេលដែលលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបំពង់មានលំហូរមិនបន្ត បំពង់ស្រូបយកឧស្ម័ននៅក្រោមសម្ពាធ ហើយនៅពេលដែលលំហូរខ្យល់ឈប់ឆ្លងកាត់ ឧស្ម័នដែលស្រូបយកដោយបំពង់បង្កើតជាការធ្លាក់ចុះសម្ពាធដើម្បីដោះស្រាយ ហើយឧស្ម័នដែលបានដោះស្រាយក៏ចូលទៅក្នុងឧស្ម័នសុទ្ធនៅក្នុងបំពង់ផងដែរ។ ដូចជាមិនបរិសុទ្ធ។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានោះ ការស្រូបយក និងដំណោះស្រាយត្រូវបានធ្វើម្តងទៀត ដូច្នេះហើយ លោហៈធាតុនៅផ្នែកខាងក្នុងនៃបំពង់ក៏ផលិតនូវបរិមាណជាក់លាក់នៃម្សៅ ហើយភាគល្អិតធូលីលោហៈនេះក៏បំពុលឧស្ម័នសុទ្ធនៅខាងក្នុងបំពង់ផងដែរ។លក្ខណៈនៃបំពង់នេះគឺចាំបាច់ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែលបានដឹកជញ្ជូន ដែលទាមទារមិនត្រឹមតែភាពរលោងខ្ពស់នៃផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏មានភាពធន់ទ្រាំពាក់ខ្ពស់ផងដែរ។

នៅពេលដែលឧស្ម័នដែលមានដំណើរការច្រេះខ្លាំង បំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលធន់នឹងការ corrosion ត្រូវតែប្រើសម្រាប់បំពង់។បើមិនដូច្នោះទេ បំពង់នឹងបង្កើតចំណុចច្រេះនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងដោយសារតែការច្រេះ ហើយក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរ វានឹងមានផ្ទៃធំនៃការច្រូតដែក ឬសូម្បីតែការប្រេះ ដែលនឹងបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធដែលត្រូវចែកចាយ។

ការតភ្ជាប់បំពង់បញ្ជូន និងចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធ និងអនាម័យខ្ពស់នៃអត្រាលំហូរដ៏ធំ។

ជាគោលការណ៍ពួកវាទាំងអស់ត្រូវបានផ្សារដែក ហើយបំពង់ដែលប្រើត្រូវបានទាមទារដើម្បីមិនមានការផ្លាស់ប្តូរនៅក្នុងអង្គការនៅពេលដែលការផ្សារដែកត្រូវបានអនុវត្ត។សមា្ភារៈដែលមានមាតិកាកាបូនខ្ពស់ពេកគឺត្រូវទទួលរងនូវការជ្រាបចូលខ្យល់នៃផ្នែកដែលផ្សារដែកនៅពេលផ្សារ ដែលធ្វើអោយមានការជ្រៀតចូលគ្នាទៅវិញទៅមកនៃឧស្ម័នខាងក្នុង និងខាងក្រៅបំពង់ និងបំផ្លាញភាពបរិសុទ្ធ ភាពស្ងួត និងភាពស្អាតនៃឧស្ម័នដែលបានបញ្ជូន ដែលបណ្តាលឱ្យបាត់បង់។ រាល់កិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងរបស់យើង។

សរុបសេចក្តីមក សម្រាប់បំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងបំពង់បញ្ជូនឧស្ម័នពិសេស ចាំបាច់ត្រូវប្រើការព្យាបាលពិសេសនៃបំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (រួមទាំងបំពង់ បំពង់បង្ហូរទឹក វ៉ាល់ VMB, VMP) នៅក្នុង ការចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់កាន់កាប់បេសកកម្មដ៏សំខាន់មួយ។

គំនិតទូទៅនៃបច្ចេកវិទ្យាស្អាតសម្រាប់បំពង់បញ្ជូន និងចែកចាយ

ការបញ្ជូនរាងកាយឧស្ម័នដ៏បរិសុទ្ធ និងស្អាតជាមួយនឹងបំពង់ មានន័យថាមានតម្រូវការជាក់លាក់ ឬការគ្រប់គ្រងសម្រាប់ទិដ្ឋភាពបីនៃឧស្ម័នដែលត្រូវដឹកជញ្ជូន។

ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័ន៖ ខ្លឹមសារនៃបរិយាកាសមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងភាពបរិសុទ្ធ gGas៖ ខ្លឹមសារនៃបរិយាកាសមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងឧស្ម័ន ដែលជាធម្មតាត្រូវបានបញ្ជាក់ជាភាគរយនៃភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដូចជា 99.9999% បានបង្ហាញផងដែរថាជាសមាមាត្របរិមាណនៃមាតិកាបរិយាកាសមិនបរិសុទ្ធ ppm, ppb, ppt

ភាពស្ងួត៖ បរិមាណសំណើមដាននៅក្នុងឧស្ម័ន ឬបរិមាណដែលហៅថា ភាពសើម ដែលជាធម្មតាបង្ហាញក្នុងន័យនៃចំណុចទឹកសន្សើម ដូចជាចំណុចទឹកសន្សើមសម្ពាធបរិយាកាស -70 ។គ.

ភាពស្អាត៖ ចំនួននៃភាគល្អិតកខ្វក់ដែលមាននៅក្នុងឧស្ម័ន ទំហំភាគល្អិតនៃ µm ប៉ុន្មានភាគល្អិត/M3 ដើម្បីបង្ហាញ សម្រាប់ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ ជាធម្មតាត្រូវបានបញ្ជាក់ផងដែរនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃចំនួនសំណល់រឹងដែលមិនអាចជៀសវាងបានប៉ុន្មាន mg/m3 ដែលគ្របដណ្តប់មាតិកាប្រេង។ .

ការចាត់ថ្នាក់ទំហំបំពុល៖ ភាគល្អិតបំពុល ជាចម្បងសំដៅលើការច្រោះបំពង់បង្ហូរ ការពាក់ ការច្រេះដែលបង្កើតឡើងដោយភាគល្អិតដែក ភាគល្អិតនៃក្លិនបរិយាកាស ក៏ដូចជាមីក្រូសារពាង្គកាយ phages និងដំណក់ទឹកឧស្ម័នដែលមានជាតិសំណើមជាដើម យោងទៅតាមទំហំនៃទំហំភាគល្អិតរបស់វា ត្រូវបានបែងចែកទៅជា

ក) ភាគល្អិតធំ - ទំហំភាគល្អិតលើសពី 5μm

ខ) ភាគល្អិត - អង្កត់ផ្ចិតសម្ភារៈរវាង 0.1μm-5μm

គ) ភាគល្អិតជ្រុល - ទំហំភាគល្អិតតិចជាង 0.1μm។

ដើម្បីបង្កើនការអនុវត្តបច្ចេកវិជ្ជានេះ ដើម្បីអាចយល់ច្បាស់អំពីទំហំភាគល្អិត និងឯកតាμm សំណុំនៃស្ថានភាពភាគល្អិតជាក់លាក់មួយត្រូវបានផ្តល់ជូនសម្រាប់ជាឯកសារយោង។

ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃភាគល្អិតជាក់លាក់