ដំណោះស្រាយបច្ចេកវិទ្យាសម្រាប់ប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ដំណើរការអេឡិចត្រូនិច

បច្ចេកវិទ្យាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធគឺជាផ្នែកសំខាន់មួយនៃប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសដែលមានភាពបរិសុទ្ធដែលជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ក្នុងការផ្តល់ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រហូតដល់ចំណុចនៃការប្រើប្រាស់ហើយនៅតែរក្សាគុណភាពដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិគ្រប់គ្រាន់។ បច្ចេកវិទ្យាបំពង់បង្ហូរឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមមានការរចនាត្រឹមត្រូវនៃប្រព័ន្ធការជ្រើសរើសបំពង់បង្ហូរទឹកនិងគ្រឿងសម្ភារៈសំណង់និងតំឡើងនិងសាកល្បង។ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះតម្រូវការតឹងរឹងកាន់តែខ្លាំងឡើងលើភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការផលិតផលិតផលខ្នាតតូចដែលតំណាងដោយសៀគ្វីដែលបានសមាហរណកម្មទ្រង់ទ្រាយធំបានធ្វើឱ្យបច្ចេកវិទ្យាបំពង់ខ្យល់នៃឧស្ម័នដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ ដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ ដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ ដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ ដែលមានការព្រួយបារម្ភកាន់តែខ្លាំងឡើង ៗ ។ ខាងក្រោមនេះគឺជាទិដ្ឋភាពសង្ខេបនៃបំពង់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ពីការជ្រើសរើសសម្ភារៈof សំណង់ក៏ដូចជាការទទួលយកនិងការគ្រប់គ្រងប្រចាំថ្ងៃ។

ប្រភេទនៃឧស្ម័នទូទៅ

ចំណាត់ថ្នាក់នៃឧស្ម័នទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច:

ឧស្ម័នទូទៅ(ឧស្ម័ន BEAMដេលនិយ័តករ)អ៊ីដ្រូសែន (H₂₎, អាសូត (n₂) អុកស៊ីសែន (អូ₂), Argon (ក₂) ។ ល។

ឧស្ម័នជំនាញគឺ sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,អេសអិល,CF₄ ,NH_3,កុច_3, sih2cl₂ sihccl3,NH_3,  ប៊ីស៊ីស៊ី_{3 ,}តឹកចent₄ ,សមាសធាតុ₃ ,ចម,C₂F_6, n2o,F_2,អេហ្វអេហ្វ,ហឺតអេស₆...... ល។

ប្រភេទនៃឧស្ម័នពិសេសជាទូទៅអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ថាមានភាពច្របូកច្របល់ឧស្ផ័ន, ពុលឧស្ផ័ន, ងាយឆេះឧស្ផ័នងាយងាយឆេះឧស្ផ័ន, អសកម្មឧស្ផ័នជាដើមឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ដូចខាងក្រោម។

(i) corrosive / ពុលឧស្ផ័ន: HCL, bf₃, WF₆, HBR, SIH₂Cl₂, nh₃, pH₃, cl₂, BCL₃... ល។

(ii) ភាពងាយឆេះឧស្ផ័ន: H₂, ch₄, sih₄, pH₃, Ash3, SIH₂Cl₂, ខ₂H₆, ch2f_2,ច / ចរេយក₃f សហ ... ល។

(iii) ភាពច្របូកច្របល់ឧស្ផ័ន: o₂, cl₂, n₂o, nf₃... ល។

(iv) អសកម្មឧស្ផ័ន: n₂, Cf₄, គ₂F₆, គ₄F_8,អេស។ អេហ្វ₆, សហ₂, Ne, NHR, IN, ។ ល។ ល។

ឧស្ម័នអេឡិចត្រូនិចជាច្រើនមានះថាក់ដល់រាងកាយមនុស្ស។ ជាពិសេសឧស្ម័នខ្លះទាំងនេះដូចជាស៊ីអេសអេស₄ ការហូរចូលដោយឯកឯងដរាបណាការលេចធ្លាយមួយនឹងមានប្រតិកម្មយ៉ាងខ្លាំងដោយអុកស៊ីសែននៅលើអាកាសហើយចាប់ផ្តើមដុត; និងផេះ₃ជាតិពុលខ្លាំងការលេចធ្លាយបន្តិចបន្តួចអាចបណ្តាលឱ្យមានហានិភ័យនៃជីវិតរបស់មនុស្សវាដោយសារតែគ្រោះថ្នាក់ជាក់ស្តែងទាំងនេះដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សុវត្ថិភាពនៃការរចនាប្រព័ន្ធគឺខ្ពស់ជាពិសេស។

វិសាលភាពនៃពាក្យសុំឧស្ម័ន  

ក្នុងនាមជាវត្ថុធាតុដើមសំខាន់មួយនៃឧស្សាហកម្មទំនើបផលិតផលឧស្ម័នត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយហើយឧស្ម័នទូទៅឬឧស្ម័នពិសេសត្រូវបានប្រើក្នុងលោហៈឧស្សាហកម្មគ្រឿងម៉ាស៊ីនគ្រឿងម៉ាស៊ីនសំភារៈសំណង់កែច្នៃចំណីអាហារនិងផ្នែកវេជ្ជសាស្រ្ត។ ការប្រើហ្គាសមានឥទ្ធិពលយ៉ាងសំខាន់ទៅលើបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់នៃវិស័យទាំងនេះជាពិសេសជាពិសេសវាគឺជាឧស្ម័នវត្ថុធាតុដើមដែលមិនអាចខ្វះបានឬដំណើរការហ្គាស។ មានតែការលើកកម្ពស់តម្រូវការនិងការលើកកម្ពស់វិស័យឧស្សាហកម្មថ្មីមួយចំនួននិងវិទ្យាសាស្ត្រនិងបច្ចេកវិទ្យាទំនើបផលិតផលឧស្សាហកម្មហ្គាសអាចត្រូវបានអភិវឌ្ឍដោយការលោតផ្លោះនិងព្រំដែនទាក់ទងនឹងភាពខុសគ្នាគុណភាពនិងបរិមាណ។

ការដាក់ពាក្យសុំហ្គាសក្នុងមីក្រូទស្សន៍និងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច

ការប្រើប្រាស់ហ្គាសតែងតែដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងដំណើរការអេឡិចត្រូនិចជាពិសេសដំណើរការអេឡិចត្រូនិចត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗគ្នាដែលមានលក្ខណៈពិសេសរបស់ក្រុមហ៊ុនអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិច (MEMS) ដែលមានឈ្មោះថាដំណើរការរបស់អេឡិចត្រូនិចដែលហៅថាដំណើរការផលិតផលិតផល។ ភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នមានផលប៉ះពាល់យ៉ាងម៉ឺងម៉ាត់ទៅលើការអនុវត្តសមាសធាតុនិងទិន្នផលផលិតផលហើយសុវត្ថិភាពនៃការផ្គត់ផ្គង់ប្រេងឥន្ធនៈគឺទាក់ទងទៅនឹងសុខភាពរបស់បុគ្គលិកនិងសុវត្ថិភាពនៃប្រតិបត្តិការរុក្ខជាតិ។

សារៈសំខាន់នៃបំពង់ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ក្នុងការដឹកជញ្ជូនឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់

នៅក្នុងដំណើរការនៃដែកអ៊ីណុករលាយនិងធ្វើសម្ភារៈប្រហែល 200 ជីនៃឧស្ម័នប្រហែល 200 ក្រាមអាចត្រូវបានស្រូបយកក្នុងមួយតោន។ បន្ទាប់ពីដំណើរការនៃដែកអ៊ីណុកមិនត្រឹមតែផ្ទៃផែនដីរបស់វាស្អិតជាមួយនឹងការចម្លងរោគផ្សេងៗប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងនៅក្នុងបន្ទះឈើរបស់វាក៏ស្រូបយកហ្គាសមួយចំនួនជាក់លាក់ផងដែរ។ នៅពេលមានលំហូរខ្យល់តាមរយៈបំពង់បង្ហូរប្រេងនោះដែកស្រូបយកផ្នែកហ្គាសនេះនឹងចូលលំហូរខ្យល់ឡើងវិញបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធវិញ។ នៅពេលដែលលំហូរខ្យល់នៅក្នុងបំពង់គឺលំហូរដែលបានបញ្ឈប់បំពង់អេឌីអេសអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេមអេសអេសអេសអេសអេសអេសអេស។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះការ adsorption និងដំណោះស្រាយត្រូវបានធ្វើម្តងទៀតដូច្នេះលោហៈធាតុនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងនៃបំពង់នេះក៏បង្កើតបរិមាណម្សៅជាក់លាក់ហើយភាគល្អិតធូលីដីនេះក៏បំពុលឧស្ម័នសុទ្ធនៅខាងក្នុងបំពង់ផងដែរ។ ចរិតលក្ខណៈនៃបំពង់នេះគឺចាំបាច់ដើម្បីធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដែលបានដឹកជញ្ជូនដែលមិនត្រឹមតែមានភាពរលោងខ្ពស់បំផុតនៃបំពង់ខាងក្នុងនៃបំពង់ប៉ុណ្ណោះទេប៉ុន្តែថែមទាំងការតស៊ូដែលកាន់ខ្ពស់ផងដែរ។

នៅពេលដែលឧស្ម័នដែលមានដំណើរការបែបច្របូកច្របល់ខ្លាំងត្រូវបានប្រើបំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលធន់ទ្រាំនឹងច្រែះត្រូវតែប្រើសម្រាប់បំពង់។ បើមិនដូច្នោះទេបំពង់នឹងផលិតចំណុចច្រេះនៅលើផ្ទៃខាងក្នុងដោយសារតែការច្រេះនិងក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរវានឹងមានតំបន់ធំមួយនៃការដកហូតដែកឬសូម្បីតែការបែកគ្នាដែលនឹងបំពុលឧស្ម័នសុទ្ធដែលត្រូវបានចែកចាយ។

ការតភ្ជាប់នៃបំពង់បញ្ជូននិងបំពង់បង្ហូរហ្គាសនិងចែកចាយស្អាតស្អំខ្ពស់នៃអត្រាលំហូរដ៏ធំ។

ជាគោលការណ៍ពួកគេទាំងអស់ត្រូវបានផ្សារភ្ជាប់ហើយបំពង់ដែលបានប្រើត្រូវបានគេតម្រូវឱ្យមិនមានការផ្លាស់ប្តូរនៅក្នុងការរៀបចំនៅពេលដែលការផ្សារត្រូវបានអនុវត្ត។ សមា្ភារៈដែលមានបរិមាណកាបូនខ្ពស់ពេកគឺស្ថិតនៅក្រោមភាពធន់នៃខ្យល់នៃផ្នែកដែលបានផ្សារភ្ជាប់នៅពេលផ្សារដែកដែលមានភាពបរិសុទ្ធស្ងួតនិងអនាម័យនៃឧស្ម័នដែលបានបញ្ជូនមក។

សរុបសេចក្ដីមកសម្រាប់ឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់និងបំពង់បញ្ជូនឧស្ម័នពិសេសវាចាំបាច់ត្រូវប្រើប្រព័ន្ធបំពង់ដែកអ៊ីណុកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (រួមទាំងបំពង់បង្ហូរទឹកដែលមានប្រដាប់ប្រដារ VMB) ក្នុងការចែកចាយឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់កាន់កាប់បេសកកម្មដ៏សំខាន់មួយ។

គំនិតទូទៅនៃបច្ចេកវិទ្យាស្អាតសម្រាប់បំពង់បញ្ជូននិងចែកចាយ

ការបញ្ជូនឥន្ធនៈឧស្ម័នសុទ្ធនិងស្អាតជាមួយនឹងបំពង់មានន័យថាមានតម្រូវការឬការគ្រប់គ្រងជាក់លាក់សម្រាប់ទិដ្ឋភាព 3 នៃហ្គាសដែលត្រូវដឹកជញ្ជូន។

ភាពបរិសុទ្ធនៃបរិយាកាសភាពបរិសុទ្ធ GGAs: ខ្លឹមសារនៃបរិយាកាសនៃឧស្ម័នដែលជាធម្មតាបានសម្តែងនូវសមាមាត្រនៃបរិមាណនៃបរិយាកាសនៃបរិយាកាសនៃបរិយាកាសអមតៈ PPB

ភាពស្ងួត: បរិមាណសំណើមដាននៅក្នុងហ្គាសឬចំនួនទឹកប្រាក់ដែលគេហៅថាសើមជាធម្មតាត្រូវបានសម្តែងពីចំណុចទឹកសន្សើមដូចជាសម្ពាធបរិយាកាសទឹកសន្សើម DeW Point -70 ។ គ។

ភាពស្អាតស្អំ: ចំនួនភាគល្អិតកខ្វក់ដែលមាននៅក្នុងឧស្ម័នទំហំឧស្ម័នទំហំនៃμmតើភាគល្អិត / ម 3 ក្នុងការបង្ហោះសម្រាប់ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ជាធម្មតាមានចំនួនសំណល់រឹងប្រាំអាមជា MG / M3 ដែលគ្របដណ្តប់លើមាតិកាប្រេង។

ចំណាត់ថ្នាក់ទំហំដែលបំពុលបរិស្ថាន: ភាគល្អិតបំពុលភាគច្រើនសំដៅទៅលើការវាយកំព្យូទ័រការច្រេះដែលបានបង្កើតដោយចំណុចប្រទាក់មើមបរិយាកាសនិងដំណក់ទឹកដែលមានសំណើម។ ល។ នេះបើយោងតាមទំហំនៃទំហំភាគល្អិតរបស់វាត្រូវបានបែងចែកជា

ក) ភាគល្អិតធំ ៗ - ទំហំភាគល្អិតខាងលើ5μm

ខ) ភាគល្អិត - អង្កត់ផ្ចិតសម្ភារៈចន្លោះពី 0.1 មម - 5μm

គ) ភាគីតូចជ្រុល - ទំហំភាគល្អិតតិចជាង0.1μm។

ដើម្បីលើកកម្ពស់ការអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យានេះដើម្បីអាចយល់ដឹងអំពីទំហំភាគល្អិតនិងអង្គភាពμmឯកតានៃស្ថានភាពភាគល្អិតជាក់លាក់មួយត្រូវបានផ្តល់ជូនសម្រាប់ឯកសារយោង

ខាងក្រោមនេះគឺជាការប្រៀបធៀបនៃភាគល្អិតជាក់លាក់