ការរចនាប្រព័ន្ធសម្រាប់ឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតអេឡិចត្រូនិក

នៅពេលដែលទីផ្សារអេឡិចត្រូនិកកើនឡើងស្តង់ដារសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធនិងភាពត្រឹមត្រូវកាន់តែតឹងតែង។ កត្តាមួយក្នុងចំណោមកត្តាកំណត់ក្នុងគុណភាពនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺឧស្ម័នដែលប្រើក្នុងដំណើរការនេះ។ ឧស្ម័នទាំងនេះដើរតួនាទីជាច្រើនក្នុងដំណើរការផលិតកម្មរួមមាន:

ការត្រួតពិនិត្យដំណើរការភាពជាក់លាក់

ការការពារការចម្លងរោគ

ការលើកកម្ពស់អចលនទ្រព្យអចលនទ្រព្យ

ដើម្បីអនុវត្តតួនាទីទាំងនេះប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសនិងចែកចាយហ្គាសត្រូវតែមានប្រសិទ្ធភាព។ ការរចនាប្រព័ន្ធដោះស្រាយហ្គាសដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកត្រូវតែត្រូវបានគាំទ្រដោយសមាសធាតុរឹងមាំនិងសភាដែលបានប្តូរតាមតម្រូវការដើម្បីធានាបាននូវការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលអាចទុកចិត្តបាននិងមានគុណភាពខ្ពស់ដែលអាចទុកចិត្តបាន។

ឧស្ម័នត្រូវបានប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ដំណើរការនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកតម្រូវឱ្យមានការប្រើប្រាស់ឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នានៅដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃដំណើរការ។

ខណៈពេលដែលឧស្ម័នទូទៅដូចជាអាសូតអ៊ីដ្រូសែន argon និង Helium អាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងទម្រង់សុទ្ធរបស់ពួកគេដំណើរការមួយចំនួនអាចត្រូវការល្បាយពិសេស។ Silanes ឬ Siloxanes, Hexafuborides, halides និងអ៊ីដ្រូកាបូនគឺជាឧស្ម័នជំនាញមួយចំនួនដែលត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ ឧស្ម័នទាំងនេះអាចមានគ្រោះថ្នាក់ឬមានប្រតិកម្មខ្ពស់បង្កើតបញ្ហាប្រឈមក្នុងការជ្រើសរើសនិងរចនាសមាសធាតុសម្រាប់ប្រព័ន្ធហ្គាស។

នេះគឺជាឧទាហរណ៍មួយចំនួន:

\ អ៊ីដ្រូសែននិងអេលីយ៉ូមអាចលេចធ្លាយបានយ៉ាងងាយស្រួលពីប្រព័ន្ធបំពង់បង្ហូរទឹកនិងប្រព័ន្ធសមដោយសារតែទំហំនិងទំងន់អាតូមតូចរបស់ពួកគេ។

\ Silanes មានភាពងាយឆេះខ្លាំងហើយអាចឆេះដោយឯកឯង (Autoignite) នៅក្នុងខ្យល់។

\ rifluoride difluoride ដែលត្រូវបានប្រើក្នុងការដាក់ប្រាក់បញ្ញើ, ដំណាក់កាលសំអាតការលាងសំអាតក្លាយជាឧស្ម័នផ្ទះកញ្ចក់ដ៏ខ្លាំងក្លានៅពេលបែកធ្លាយចូលក្នុងបរិស្ថាន។

\ fluoride hydrogen (cherming ហ្គាស) គឺមានភាពច្របូកច្របល់ខ្លាំងចំពោះបំពង់ដែក។

\ trimethylgallium និង ammonia អាចពិបាកដោះស្រាយ - ការឡើងចុះនៃសីតុណ្ហភាពសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធរបស់ពួកគេអាចប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការប្រាក់បញ្ញើ។

ការគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌដើម្បីកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមាននៃឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវតែជាអាទិភាពកំពូលក្នុងអំឡុងពេលរចនាប្រព័ន្ធ។ វាមានសារៈសំខាន់ដូចគ្នាក្នុងការប្រើសមាសធាតុដែលមានគុណភាពខ្ពស់បំផុតដូចជាវ៉ាល់ដ្យាក្រាម AFK ក្នុងកំឡុងពេលដំណើរការសាងសង់។

ដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមការរចនាប្រព័ន្ធ

ឧស្ម័នថ្នាក់សួនឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺភាគច្រើននៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់និងផ្តល់លក្ខខណ្ឌបញ្ចូលគ្នាឬបង្កើនប្រតិកម្មនៅដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃដំណើរការផលិតដូចជាអេឡិចត្រូនិចនិងឧស្ម័នដាក់ប្រាក់។ ការលេចធ្លាយឬការចម្លងរោគនៃឧស្ម័នបែបនេះអាចមានផលប៉ះពាល់អវិជ្ជមាន។ ដូច្នេះវាមានសារៈសំខាន់ណាស់សម្រាប់សមាសធាតុប្រព័ន្ធដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីបិទជិតនិងធន់ទ្រាំយ៉ាងខ្លាំងក៏ដូចជាការបញ្ចប់ផ្ទៃរលោង (ការដុសខាត់អេឡិចត្រូនិច) ដើម្បីធានាថាមិនមានលទ្ធភាពនៃការចម្លងរោគខ្ពស់នោះទេ។

លើសពីនេះទៀតឧស្ម័នខ្លះអាចត្រូវបានកំដៅឬត្រជាក់ដើម្បីទទួលបានលក្ខខណ្ឌដំណើរការដែលចង់បាន។ សមាសធាតុដែលមានអ៊ីសូឡង់ល្អធានានូវការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការអនុវត្តប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃផលិតផលចុងក្រោយ។

ពីប្រភពចូលនៃការប្រើប្រាស់សមាសធាតុដ៏ធំទូលាយរបស់ AFK គាំទ្រភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតសីតុណ្ហភាពសម្ពាធនិងការគ្រប់គ្រងលំហូរដែលត្រូវការក្នុងបន្ទប់សមរាបាលលំហូរឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកនិងបន្ទប់ទំនេរ។

ប្រព័ន្ធដែលបានរចនាឡើងដែលមានសមាសធាតុដែលមានគុណភាពនៅក្នុង semiconductor fabs

តួនាទីនៃសមាសធាតុដែលមានគុណភាពនិងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរចនាមានសារៈសំខាន់ណាស់ចំពោះការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់និងការផលិតអេឡិចត្រូនិកដោយសុវត្ថិភាព។ សមាសធាតុដែលត្រូវបានប្រើចាំបាច់ត្រូវមានភាពរឹងមាំនិងលេចធ្លាយដើម្បីឱ្យមានលក្ខខណ្ឌផ្សេងៗគ្នាដែលត្រូវការនៅដំណាក់កាលផ្សេងៗគ្នានៃវ៉ាល់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់របស់ក្រុមហ៊ុនផលិតនិយតករបំពង់បង្ហូរទឹកនិងការផ្សាភ្ជាប់ត្រូវបានកំណត់ដោយលក្ខណៈពិសេសដូចខាងក្រោមៈ

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត

ការលេចធ្លាយ - ត្រាឥតគិតថ្លៃ

អ៊ីសូឡាំងដែលគ្រប់គ្រងដោយសីតុណ្ហភាព

ការត្រួតពិនិត្យសម្ពាធ

ភាពធន់ទ្រាំច្រោះ

ការព្យាបាលធូលីអេឡិចត្រូនិច