ការប្រជាប្រិយភាពនៃឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតនៅក្នុងផលិតកម្មឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតគឺចាំបាច់នៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ផ្គត់ផ្គង់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូនិក។ តាមពិតសម្រាប់អាវធំដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់គឺជាការចំណាយលើសម្ភារៈធំបំផុតបន្ទាប់ពីស៊ីលីខនដោយខ្លួនឯង។ បន្ទាប់ពីការធ្វើឱ្យបន្ទះឈីបសកលឧស្សាហកម្មកំពុងពង្រីកលឿនជាងពេលណាៗទាំងអស់ហើយតម្រូវការសម្រាប់ឧស្ម័នភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់កំពុងតែកើនឡើង។

ឧស្ម័នដែលបានប្រើជាទូទៅបំផុតក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកគឺអាសូតអ៊ីលីយ៉ូមអ៊ីដ្រូសែននិង Argon ។

Nអនុហ្ញាត

អាសូតមានចំនួន 78% នៃបរិយាកាសរបស់យើងហើយមានច្រើនក្រៃលែង។ វាក៏កើតឡើងផងដែរដែលធ្វើឱ្យអសកម្មគីមីនិងការមិនប្រព្រឹត្ដ។ ជាលទ្ធផលអាសូតបានរកឃើញផ្លូវរបស់ខ្លួនទៅជាឧស្សាហកម្មមួយចំនួនដែលជាឧស្ម័នអសកម្មដែលមានប្រសិទ្ធិភាព។

ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចគឺជាអ្នកប្រើប្រាស់អាសូតដ៏សំខាន់មួយ។ រោងចក្រផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិកទំនើបមួយត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងប្រើអាសូតដែលមានរហូតដល់ទៅ 5 ម៉ឺនម៉ែត្រគូបក្នុងមួយម៉ោង។ នៅក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកការផលិតអាសូតធ្វើសកម្មភាពដែលមានគោលបំណងធ្វើឱ្យមានគោលបំណងធ្វើសកម្មភាពនិងបណ្តុំឧស្ម័នការពារការធ្វើឱ្យស៊ីលីខនងាយរងគ្រោះពីអុកស៊ីសែននិងសំណើមដែលមានប្រតិកម្មនៅលើអាកាស។

អេលីយ៉ូម

អេលីយ៉ូមគឺជាឧស្ម័នអសកម្ម។ នេះមានន័យថាដូចជាអាសូតអេលីយ៉ូមមានសារធាតុគីមីគីមី - ប៉ុន្តែវាក៏មានគុណសម្បត្តិបន្ថែមនៃការកំដៅខ្ពស់ផងដែរ។ នេះមានប្រយោជន៍ជាពិសេសក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាធ្វើឱ្យវាមានប្រសិទ្ធិភាពនៅឆ្ងាយពីដំណើរការថាមពលខ្ពស់និងជួយការពារពួកគេពីការខូចខាតកម្ដៅនិងប្រតិកម្មគីមីដែលមិនចង់បាន។

អ៊ីដ្រូដនី

អ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅទូទាំងដំណើរការផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិចហើយផលិតកម្មអេឡិចត្រូនិចមិនមានករណីលើកលែងនោះទេ។ ជាពិសេសអ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើសម្រាប់:

Annealing: Wafers Silicon ត្រូវបានកំដៅជាធម្មតាចំពោះសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ហើយត្រជាក់យឺត ៗ ក្នុងការជួសជុល (Anneal) រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់។ អ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្ទេរកំដៅយ៉ាងខ្លាំងទៅវ៉ាយហ្វាយនិងដើម្បីជួយក្នុងការកសាងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ឡើងវិញ។

epitaxy: អ៊ីដ្រូសែនសុទ្ធសុទ្ធដែលមានអង់តែនខ្ពស់ត្រូវបានប្រើជាភ្នាក់ងារកាត់បន្ថយនៅក្នុងការដាក់ប្រាក់នៃវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូនិចនៃវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូនិកដូចជាស៊ីលីកុននិងអាល្លឺម៉ង់។

ការដាក់ប្រាក់: អ៊ីដ្រូសែនអាចត្រូវបានជ្រុលចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តស៊ីលីខនដើម្បីធ្វើឱ្យរចនាសម្ព័ន្ធអាតូមិចរបស់ពួកគេមានភាពមិនស្រួលជាងការជួយបង្កើនភាពធន់ទ្រាំ។

ការសំអាតប្លាស្មា: ផ្លាស្ទិចអ៊ីដ្រូសែនមានប្រសិទ្ធភាពជាពិសេសក្នុងការដកការសម្តែងសំណប៉ាហាំងចេញពីប្រភពពន្លឺដែលត្រូវបានប្រើក្នុងលីចលីច។

អាបិច

Argon គឺជាឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូមួយផ្សេងទៀតដូច្នេះវាបង្ហាញពីប្រតិកម្មទាបដូចគ្នានឹងអាសូតនិងអេលីយ៉ូម។ ទោះយ៉ាងណាថាមពលអ៊ីយ៉ុងទាបរបស់ Argon ធ្វើឱ្យវាមានប្រយោជន៍ក្នុងកម្មវិធីអេឡិចត្រូនិច។ ដោយសារតែភាពងាយស្រួលនៃការធ្វើអ៊ីយ៉ុងរបស់វា, Argon ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅថាជាឧស្ម័នប្លាស្មាចម្បងសម្រាប់ etch និងប្រតិកម្មក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ បន្ថែមពីលើនេះ argon ក៏ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឡាស៊ែរ Excimers សម្រាប់កាំរស្មីយូវីលីចូម។

ហេតុអ្វីបញ្ហាភាពបរិសុទ្ធ

ជាធម្មតាការជឿនលឿនផ្នែកបច្ចេកវិទ្យាអេឡិចត្រូនិកត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈការធ្វើមាត្រដ្ឋានទំហំនិងការធ្វើមាត្រដ្ឋានអេឡិចត្រូនិកជំនាន់ថ្មីត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំលក្ខណៈតូចជាងមុន។ នេះផ្តល់នូវអត្ថប្រយោជន៍ជាច្រើនគឺត្រង់ស៊ីស្ទ័របន្ថែមទៀតនៅក្នុងបរិមាណដែលបានផ្តល់ឱ្យ, ចរន្តប្រសើរ, ការប្រើប្រាស់ថាមពលទាបនិងការប្តូរលឿនជាងមុន។

ទោះយ៉ាងណានៅពេលដែលទំហំដ៏សំខាន់មានការថយចុះឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចកាន់តែទំនើប។ នៅក្នុងពិភពមួយដែលទីតាំងនៃអាតូមនីមួយៗមានបញ្ហាកម្រិតការអត់ឱនឱ្យមានកំហុសគឺតឹងខ្លាំងណាស់។ ជាលទ្ធផលដំណើរការអេឡិចត្រូនិចសម័យទំនើបត្រូវការដំណើរការឧស្ម័នដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុត។

តើសហគ្រាសបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ដែលមានឯកទេសខាងវិស្វកម្មប្រព័ន្ធដាក់ពាក្យសុំហ្គាស: ប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសកណ្តាលឧស្ម័នដែលមានឧស្ម័នខ្ពស់ការជ្រើសរើសឧបករណ៍សមាសធាតុនៃការតំឡើងនិងសំណង់ គេហទំព័រគម្រោងការធ្វើតេស្តប្រព័ន្ធទាំងមូលការថែរក្សានិងផលិតផលគាំទ្រផ្សេងទៀតតាមរបៀបដែលបានរួមបញ្ចូលគ្នា។