ការផលិតប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច

នៅក្នុងការប្រឌិតអេឡិចត្រូនិកអេឡិចត្រូនិកឧស្ម័នធ្វើកិច្ចការនិងឡាស៊ែរទាំងអស់ទទួលបានការយកចិត្តទុកដាក់ទាំងអស់។ ខណៈពេលដែលឡាស៊ែរធ្វើលំនាំត្រង់ស៊ីស្ទ័រទៅកាន់ស៊ីលីខន etch ដែលបានដាក់ប្រាក់ដំបូងនៃប្រាក់បញ្ញើនិងបំបែកឡាស៊ែរដើម្បីធ្វើឱ្យសៀគ្វីពេញលេញគឺជាស៊េរីនៃឧស្ម័នពេញលេញគឺជាស៊េរីនៃឧស្ម័នពេញលេញ។ វាមិនមែនជារឿងគួរឱ្យភ្ញាក់ផ្អើលទេដែលឧស្ម័នទាំងនេះដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីអភិវឌ្ឍមីក្រូវ៉េវតាមរយៈដំណើរការពហុដំណាក់កាលគឺមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ បន្ថែមលើដែនកំណត់នេះពួកគេភាគច្រើនមានការព្រួយបារម្ភនិងដែនកំណត់ផ្សេងទៀត។ ឧស្ម័នខ្លះមាន cryosenic, អ្នកផ្សេងទៀតគឺ corrosives ហើយនៅតែមានជំងឺផ្តាច់ការខ្ពស់។

សរុបទាំងអស់ដែនកំណត់ទាំងនេះធ្វើឱ្យមានប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសសម្រាប់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចគឺជាការប្រកួតប្រជែងដ៏ច្រើនសន្ធឹកសន្ធាប់។ លក្ខណៈសម្ភារៈមានតម្រូវការ។ បន្ថែមលើលក្ខណៈសម្ភារៈដែលមានអារេចែកចាយហ្គាសគឺជាអារេអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េគរដ៏ស្មុគស្មាញនៃប្រព័ន្ធដែលទាក់ទងគ្នា។ បរិស្ថានដែលពួកគេត្រូវបានប្រមូលផ្តុំគឺស្មុគស្មាញនិងត្រួតស៊ីគ្នា។ ការប្រឌិតចុងក្រោយកើតឡើងនៅនឹងកន្លែងដែលជាផ្នែកមួយនៃដំណើរការតំឡើង។ ការលក់ផ្កាថ្មជួយបំពេញតាមការបញ្ជាក់ខ្ពស់នៃតម្រូវការចែកចាយហ្គាសខណៈការផលិតផលិតកម្មយ៉ាងតឹងរឹងបរិស្ថានដែលមានការពិបាកដែលអាចគ្រប់គ្រងបាន។

របៀបដែលឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិកប្រើហ្គាស

មុនពេលប៉ុនប៉ងរៀបចំផែនការផលិតប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសវាចាំបាច់ត្រូវយល់យ៉ាងហោចណាស់មូលដ្ឋានគ្រឹះនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក។ នៅឯឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិករបស់វាប្រើហ្គាសដើម្បីដាក់ប្រាក់សុទ្ធនៅជិតធាតុនៅលើផ្ទៃមួយក្នុងលក្ខណៈដែលគ្រប់គ្រងខ្ពស់។ សារធាតុរាវដែលបានដាក់រួចហើយត្រូវបានកែប្រែដោយណែនាំឧស្ម័នបន្ថែមឡាស៊ែរអ៊ីស្រែរគីមីនិងកំដៅបន្ថែម។ ជំហាននៅក្នុងដំណើរការទូលំទូលាយគឺ:

ការដាក់ប្រាក់: នេះគឺជាដំណើរការនៃការបង្កើតវ៉ារីកាលីនដំបូង។ ឧស្ម័នមុនស៊ីលីខុនត្រូវបានបូមចូលទៅក្នុងសភាពដែលមិនមានម៉ាស៊ីនបូមូតទំនេរនិងបង្កើតជាស៊ីលីខនស្តើងតាមរយៈអន្តរកម្មគីមីឬរូបវិទ្យា។

ការថតចម្លងរូបតំណាង: ផ្នែករូបថតសំដៅទៅលើឡាស៊ែរ។ នៅក្នុងវិសាលគមលីត្រូវូលយូធូឡូសដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យបន្ទះឈីបជាក់លាក់ខ្ពស់បំផុតឡាស៊ែរឡាស៊ូតឡាស៊ែរត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់សៀគ្វីអគ្គីសនីមីក្រូហិរញ្ញវត្ថុចូលទៅក្នុងវ៉ាយហ្វាយ។

etching: ក្នុងកំឡុងពេលដំណើរការអេតចាយហ្គាសកាបូន halogen ត្រូវបានបូមចូលទៅក្នុងបន្ទប់ដើម្បីធ្វើឱ្យសកម្មនិងរំលាយសម្ភារៈដែលបានជ្រើសរើសនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុន។ ដំណើរការនេះមានប្រសិទ្ធភាពសៀគ្វីដែលបានបោះពុម្ពឡាស៊ែរនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។

ការធ្វើនំ: នេះគឺជាជំហានបន្ថែមដែលផ្លាស់ប្តូរនូវចរន្តរបស់ផ្ទៃខាងលើដើម្បីកំណត់លក្ខខណ្ឌពិតប្រាកដដែលការប្រព្រឹត្ដរបស់អេឡិចត្រូនិក។

Annealing: ក្នុងដំណើរការនេះប្រតិកម្មរវាងស្រទាប់ Wafer ត្រូវបានបង្កឡើងដោយសម្ពាធនិងសីតុណ្ហភាពកើនឡើង។ សំខាន់វាបញ្ចប់លទ្ធផលនៃដំណើរការមុននិងបង្កើតខួរក្បាលដែលបានបញ្ចប់នៅ Wafer ។

អង្គជំនុំជម្រះនិងការសំអាតបន្ទាត់: ឧស្ម័នដែលបានប្រើនៅក្នុងជំហានមុនជាពិសេសការធ្វើឱ្យមានជាតិគីមីច្រើនតែពុលខ្ពស់និងមានប្រតិកម្ម។ ដូច្នេះអង្គជំនុំជម្រះនិងបន្ទាត់ឧស្ម័នផ្តល់ចំណីឱ្យវាចាំបាច់ត្រូវបំពេញដោយអតិសុខុមប្រាណឧស្ម័នកាត់បន្ថយឬលុបបំបាត់ប្រតិកម្មដែលមានគ្រោះថ្នាក់ហើយបន្ទាប់មកពោរពេញទៅដោយឧស្ម័នអសកម្មដើម្បីការពារការឈ្លានពាននៃឧស្ម័នដែលបំពុលណាមួយពីបរិស្ថានខាងក្រៅ។

ប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចច្រើនតែស្មុគស្មាញដោយសារតែឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នាដែលពាក់ព័ន្ធហើយការគ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័នសីតុណ្ហភាពនិងសម្ពាធដែលត្រូវតែរក្សាបានតាមពេលវេលា។ នេះកាន់តែស្មុគស្មាញជាងដោយភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំផុតដែលត្រូវការសម្រាប់ឧស្ម័ននីមួយៗនៅក្នុងដំណើរការ។ ឧស្ម័នដែលបានប្រើនៅក្នុងជំហានមុនត្រូវតែត្រូវបានហូរចេញពីបន្ទាត់និងបន្ទប់ឬបើមិនដូច្នោះទេដូច្នេះមុនពេលជំហានបន្ទាប់នៃដំណើរការអាចចាប់ផ្តើម។ នេះមានន័យថាមានខ្សែជំនាញមួយចំនួនធំដែលមានចំណុចប្រទាក់គ្នារវាងប្រព័ន្ធបំពង់ដែលមានរាងដូចចំណុចប្រទាក់រវាងទុយោនិងបំពង់និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញានិងប្រព័ន្ធផ្សាភ្ជាប់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីការពារការចម្លងរោគឧស្ម័នធម្មជាតិពីការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័នធម្មជាតិពីការផ្គត់ផ្គង់ហ្គាស។

លើសពីនេះទៀតការផ្លាស់ប្តូរបន្ទប់សំអាងនិងឧស្ម័នជំនាញនឹងត្រូវបានបំពាក់ដោយប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ហ្គាសភាគច្រើននៅក្នុងបរិស្ថានសម្អាតនិងតំបន់ដែលបានបង្ខាំងជំនាញដើម្បីកាត់បន្ថយគ្រោះថ្នាក់ណាមួយក្នុងករណីមានការលេចធ្លាយដោយចៃដន្យ។ ផ្សារដែកប្រព័ន្ធហ្គាសទាំងនេះក្នុងបរិយាកាសស្មុគស្មាញបែបនេះមិនមែនជាការងារងាយស្រួលទេ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយដោយយកចិត្តទុកដាក់ការយកចិត្តទុកដាក់ចំពោះព័ត៌មានលម្អិតនិងឧបករណ៍ត្រឹមត្រូវកិច្ចការនេះអាចត្រូវបានសម្រេចដោយជោគជ័យ។

ការផលិតប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច

សមា្ភារៈដែលត្រូវបានប្រើក្នុងប្រព័ន្ធចែកចាយហ្គាសអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិចមានលក្ខណៈប្រែប្រួលខ្ពស់។ ពួកគេអាចរាប់បញ្ចូលរឿងដូចជាបំពង់ដែកដែលមានជួរ ptfe និងទុយោដើម្បីទប់ទល់នឹងឧស្ម័នដែលច្រោះបានយ៉ាងខ្លាំង។ សម្ភារៈទូទៅបំផុតដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់បំពង់មានគោលបំណងទូទៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចគឺដែកអ៊ីណុក 316 លី - វ៉ារ្យ៉ង់ដែកអ៊ីណុកទាប។ នៅពេលនិយាយដល់ឆ្នាំ 316L ទល់នឹង 316, 316l មានភាពធន់ទ្រាំទៅនឹងការច្រេះអន្តរអាំង។ នេះគឺជាការពិចារណាដ៏សំខាន់នៅពេលដោះស្រាយជាមួយជួរនៃប្រតិកម្មដែលមានប្រតិកម្មខ្ពស់និងមានសក្តានុពលដែលអាចបង្កគ្រោះថ្នាក់បានដែលអាចប្រែប្រួលដែលអាចបង្កគ្រោះថ្នាក់កាបូន។ ដែកអ៊ីណុក 316l បញ្ចេញដែកថែបកាបូនតិចតិច។ វាក៏ជួយកាត់បន្ថយសក្តានុពលនៃសំណឹកព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិដែលអាចនាំឱ្យមានការច្រេះច្រេះនៅក្នុងតំបន់ដែលប៉ះពាល់ដល់កូន។

ដើម្បីកាត់បន្ថយលទ្ធភាពនៃបំពង់បង្ហូរទឹកដែលនាំទៅដល់ការច្រេះផលិតផលនិងការចម្លងរោគ 316l ដែកអ៊ីណុកបានផ្សារដែកជាមួយនឹងឧស្ម័នការពារការការពារការការពារការការពារការការពារដោយអាងងូតទឹកសុទ្ធ។ ដំណើរការផ្សារតែមួយគត់ដែលផ្តល់វត្ថុបញ្ជាដែលត្រូវការដើម្បីរក្សាបរិយាកាសបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅក្នុងដំណើរការបំពង់ដំណើរការ។ ការផ្សារគន្លឹះស្វ័យប្រវត្តិមានតែនៅក្នុងការចែកចាយហ្គាសអេឡិចត្រូនិចអេឡិចត្រូនិចប៉ុណ្ណោះ