ការអនុវត្តការព្យាបាលឧស្ម័នកន្ទុយឧស្ម័នពិសេស!

ឧបករណ៍ព្យាបាលឧស្ម័នកន្ទុយអាចគ្រប់គ្រងឧស្ម័នដែលត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការនៃការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនិងដំណើរការកំណត់ថាមពលអគ្គីសនីរួមទាំង SIH2, C16, C26, NH3, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2, N2 ។

វិធីសាស្រ្តព្យាបាលហ្គាសហត់នឿយ

យោងទៅតាមលក្ខណៈនៃការព្យាបាលឧស្ម័នហត់នឿយការព្យាបាលអាចត្រូវបានបែងចែកជាបួនប្រភេទនៃការព្យាបាល:

1 ។ ប្រភេទលាងទឹក (ការព្យាបាលឧស្ម័នច្រេះ)

2 ។ ប្រភេទអុកស៊ីតកម្ម (ដោះស្រាយជាមួយឧស្ម័នដែលងាយឆេះនិងពុល)

3 ។ adsorption (យោងទៅតាមប្រភេទសម្ភារៈ adsorption ដើម្បីដោះស្រាយជាមួយឧស្ម័នហត់នឿយដែលត្រូវគ្នា) ។

ប្រភេទចំហេះ combxlasma (ប្រភេទឧស្ម័នផ្សងគ្រប់ប្រភេទអាចត្រូវបានព្យាបាល) ។

ការព្យាបាលប្រភេទនីមួយៗមានគុណសម្បត្តិនិងគុណវិបត្តិផ្ទាល់ខ្លួនក៏ដូចជាវិសាលភាពនៃកម្មវិធីរបស់វា។ នៅពេលដែលវិធីសាស្រ្តព្យាបាលគឺការលាងទឹកឧបករណ៍មានតំលៃថោកនិងសាមញ្ញហើយអាចគ្រប់គ្រងតែឧស្ម័នដែលរលាយបានទឹកប៉ុណ្ណោះ។ ជួរនៃការដាក់ពាក្យសុំការលាងទឹកអគ្គិសនីគឺខ្ពស់ជាងប្រភេទលាងទឹកប៉ុន្តែថ្លៃដើមប្រតិបត្តិការគឺខ្ពស់។ ប្រភេទស្ងួតមានប្រសិទ្ធិភាពនៃការព្យាបាលបានល្អហើយមិនត្រូវបានអនុវត្តចំពោះលំហូរឧស្ម័នដែលងាយស្រួលត្រូវបានស្ទះឬហូរ។

សារធាតុគីមីនិងផលិតផលរបស់ពួកគេដែលត្រូវបានប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់តាមលក្ខណៈគីមីរបស់ពួកគេនិងជួរផ្សេងៗគ្នារបស់វា:

1 ។ ឧស្ម័នដែលងាយឆេះដូចជា SIH4H2 ។ ល។

2 ។ ឧស្ម័នពុលដូចជាផេះ 3, pH3 ។ ល។

3 ។ ឧស្ម័នដែលច្រេះដូចជា HF, HCL ។ ល។

4 ។ ផ្ទះកញ្ចក់ផ្ទះកញ្ចក់ដូចជា CF4, NF3 ។ ល។

ដោយសារឧស្ម័នបួនខាងលើមានះថាក់ដល់បរិស្ថានឬរាងកាយមនុស្សត្រូវតែការពារការបំភាយដោយផ្ទាល់របស់ខ្លួនដូច្នេះរោងចក្រអេឡិចត្រូនិកទូទៅត្រូវបានកំណត់ដោយប្រើថាមពលទឹករលាយក្នុងចម្ងាយឆ្ងាយហើយមិនអាចដោះស្រាយបានទេ។ ដូច្នេះវាចាំបាច់ក្នុងការជ្រើសរើសនិងផ្គូផ្គងឧបករណ៍ព្យាបាលហ្គាសហត់នឿយដែលត្រូវបានយោងទៅតាមលក្ខណៈហ្គាសដែលបានមកពីដំណើរការនីមួយៗដើម្បីដោះស្រាយបញ្ហាហត់នឿយក្នុងផ្លូវហត់នឿយតាមរបៀបតូចមួយ។ នៅពេលដែលតំបន់ធ្វើការភាគច្រើននៅឆ្ងាយពីប្រព័ន្ធព្យាបាលហ្គាសហត់នឿយបំផុតដោយសារតែលក្ខណៈឧស្ម័ននាំឱ្យមានការកកកុញធូលីឬធូលីដែលបណ្តាលឱ្យស្ទះបំពង់បង្ហូរទឹកនិងក្នុងករណីធ្ងន់ធ្ងរអាចធានាបាននូវសុវត្ថិភាពការងាររបស់បុគ្គលិក។ ដូច្នេះនៅក្នុងតំបន់ការងារចាំបាច់ត្រូវកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធឧបករណ៍ព្យាបាលឧស្ម័នដែលហត់នឿយមួយដែលសមស្របសម្រាប់លក្ខណៈនៃឧស្ម័នដំណើរការដើម្បីកាត់បន្ថយឧស្ម័នហត់នឿយនៅតំបន់ធ្វើការដើម្បីធានាបាននូវសុវត្ថិភាពរបស់បុគ្គលិក។