ការអនុវត្តឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នក្នុងការព្យាបាលឧប្បត្តិហេតុលេចធ្លាយឧស្ម័ន

1. ប្រើសម្រាប់ការត្រួតពិនិត្យឧស្ម័នដែលអាចឆេះបាន និងសំឡេងរោទិ៍

នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ការអភិវឌ្ឍន៍សម្ភារៈដែលងាយនឹងប្រតិកម្មឧស្ម័នបានធ្វើឱ្យឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នមានភាពប្រែប្រួលខ្ពស់ ដំណើរការមានស្ថេរភាព រចនាសម្ព័នសាមញ្ញ ទំហំតូច និងតម្លៃទាប ហើយបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវការជ្រើសរើស និងភាពប្រែប្រួលនៃឧបករណ៏។ការជូនដំណឹងអំពីឧស្ម័នដែលមានស្រាប់ ភាគច្រើនប្រើសំណប៉ាហាំងអុកស៊ីដ បូកនឹងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នកាតាលីករលោហៈដ៏មានតម្លៃ ប៉ុន្តែការជ្រើសរើសគឺខ្សោយ ហើយភាពត្រឹមត្រូវនៃសំឡេងរោទិ៍ត្រូវបានប៉ះពាល់ដោយសារតែការពុលកាតាលីករ។ភាពប្រែប្រួលនៃវត្ថុធាតុងាយនឹងឧស្ម័ន semiconductor ទៅនឹងឧស្ម័នគឺទាក់ទងទៅនឹងសីតុណ្ហភាព។ភាពរសើបគឺទាបនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពកើនឡើង ភាពប្រែប្រួលកើនឡើង ឈានដល់កម្រិតកំពូលនៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ។ដោយសារវត្ថុធាតុងាយនឹងឧស្ម័នទាំងនេះត្រូវការដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពប្រែប្រួលល្អបំផុតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ជាទូទៅលើសពី 100°C) នេះមិនត្រឹមតែប្រើប្រាស់ថាមពលកំដៅបន្ថែមប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏អាចបណ្តាលឱ្យឆេះផងដែរ។

ការអភិវឌ្ឍន៍ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នបានដោះស្រាយបញ្ហានេះ។ឧទាហរណ៍ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នដែលផលិតពីសេរ៉ាមិចដែលងាយប្រតិកម្មនឹងឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើអុកស៊ីដដែកអាចបង្កើតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នដែលមានភាពប្រែប្រួលខ្ពស់ ស្ថេរភាពល្អ និងជម្រើសជាក់លាក់មួយដោយមិនចាំបាច់បន្ថែមកាតាលីករលោហៈដ៏ថ្លៃថ្នូ។កាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពការងារនៃវត្ថុធាតុងាយនឹងឧស្ម័ន semiconductor ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពប្រែប្រួលរបស់ពួកគេនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ដើម្បីឱ្យពួកគេអាចធ្វើការនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ បន្ថែមពីលើសេរ៉ាមិចអុកស៊ីដលោហៈតែមួយដែលប្រើជាទូទៅ សេរ៉ាមិចដែលងាយនឹងប្រតិកម្មឧស្ម័នអុកស៊ីតកម្ម និងសេរ៉ាមិចអុកស៊ីតលោហៈចម្រុះត្រូវបានបង្កើតឡើង។

ដំឡើងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័ននៅកន្លែងដែលឧស្ម័នងាយឆេះ ផ្ទុះ សារធាតុពុល និងគ្រោះថ្នាក់ត្រូវបានផលិត រក្សាទុក ដឹកជញ្ជូន និងប្រើដើម្បីរកមើលមាតិកាឧស្ម័នទាន់ពេលវេលា និងស្វែងរកគ្រោះថ្នាក់លេចធ្លាយឱ្យបានទាន់ពេលវេលា។ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នត្រូវបានភ្ជាប់ជាមួយប្រព័ន្ធការពារ ដូច្នេះប្រព័ន្ធការពារនឹងធ្វើសកម្មភាពមុនពេលឧស្ម័នឈានដល់កម្រិតនៃការផ្ទុះ ហើយការបាត់បង់គ្រោះថ្នាក់នឹងត្រូវបានរក្សាទុកនៅកម្រិតអប្បបរមា។ទន្ទឹមនឹងនេះការបង្រួមតូចនិងការកាត់បន្ថយតម្លៃនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នធ្វើឱ្យវាអាចចូលទៅក្នុងផ្ទះបាន។

2. កម្មវិធីក្នុងការរាវរកឧស្ម័ន និងការគ្រប់គ្រងគ្រោះថ្នាក់

2.1 ការរកឃើញប្រភេទឧស្ម័ន និងលក្ខណៈ

បន្ទាប់ពីមានឧប្បត្តិហេតុលេចធ្លាយឧស្ម័នកើតឡើង ការដោះស្រាយឧប្បត្តិហេតុនឹងផ្តោតលើការយកគំរូ និងការធ្វើតេស្តកំណត់តំបន់ព្រមាន រៀបចំការជម្លៀសប្រជាជននៅតំបន់គ្រោះថ្នាក់ ការជួយសង្គ្រោះអ្នកពុល ការដោតដោត និងការកំចាត់មេរោគ។ល។ ទិដ្ឋភាពដំបូងនៃការចោលគួរតែមាន កាត់បន្ថយការខូចខាតដល់បុគ្គលិកដែលបណ្តាលមកពីការលេចធ្លាយ ដែលតម្រូវឱ្យមានការយល់ដឹងអំពីការពុលនៃឧស្ម័នដែលលេចធ្លាយ។ការពុលនៃឧស្ម័នសំដៅទៅលើការលេចធ្លាយនៃសារធាតុដែលអាចរំខានដល់ប្រតិកម្មធម្មតានៃសារពាង្គកាយរបស់មនុស្ស ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយសមត្ថភាពរបស់មនុស្សក្នុងការបង្កើតវិធានការតបត និងកាត់បន្ថយការរងរបួសក្នុងគ្រោះថ្នាក់។សមាគមជាតិការពារអគ្គីភ័យបានបែងចែកជាតិពុលនៃសារធាតុទៅជាប្រភេទដូចខាងក្រោមៈ

N\H=0 ក្នុង​ករណី​មាន​ភ្លើង ក្រៅ​ពី​វត្ថុ​ងាយ​ឆេះ​ទូទៅ វា​មិន​មាន​សារធាតុ​គ្រោះថ្នាក់​ផ្សេង​ទៀត​ក្នុង​ការ​ប៉ះពាល់​រយៈពេល​ខ្លី​នោះ​ទេ។

N\H=1 សារធាតុដែលអាចបណ្តាលឱ្យរលាក និងបណ្តាលឱ្យមានរបួសតិចតួចក្នុងការប៉ះពាល់រយៈពេលខ្លី;

N\H=2 ការផ្តោតអារម្មណ៍ខ្ពស់ ឬការប៉ះពាល់រយៈពេលខ្លីអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពបណ្តោះអាសន្ន ឬរបួសដែលនៅសេសសល់។

N\H=3 ការប៉ះពាល់រយៈពេលខ្លីអាចបណ្តាលឱ្យមានរបួសធ្ងន់ធ្ងរបណ្តោះអាសន្ន ឬសំណល់។

N\H=4 ការប៉ះពាល់រយៈពេលខ្លីក៏អាចបណ្តាលឱ្យស្លាប់ ឬរបួសធ្ងន់ធ្ងរផងដែរ។

ចំណាំ៖ មេគុណជាតិពុលខាងលើតម្លៃ N\H ត្រូវបានប្រើដើម្បីចង្អុលបង្ហាញកម្រិតនៃការខូចខាតរបស់មនុស្ស ហើយមិនអាចប្រើសម្រាប់អនាម័យឧស្សាហកម្ម និងការវាយតម្លៃបរិស្ថានបានទេ។

ដោយសារឧស្ម័នពុលអាចចូលទៅក្នុងខ្លួនមនុស្សតាមរយៈប្រព័ន្ធដកដង្ហើមរបស់មនុស្ស និងបណ្តាលឱ្យមានរបួស ការការពារសុវត្ថិភាពត្រូវតែត្រូវបានបញ្ចប់យ៉ាងឆាប់រហ័សនៅពេលដោះស្រាយឧបទ្ទវហេតុលេចធ្លាយឧស្ម័នពុល។នេះតម្រូវឱ្យបុគ្គលិកគ្រប់គ្រងគ្រោះថ្នាក់យល់អំពីប្រភេទ ការពុល និងលក្ខណៈផ្សេងទៀតនៃឧស្ម័នក្នុងរយៈពេលដ៏ខ្លីបំផុតបន្ទាប់ពីបានទៅដល់កន្លែងគ្រោះថ្នាក់។
រួមបញ្ចូលគ្នានូវអារេឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាកុំព្យូទ័រដើម្បីបង្កើតប្រព័ន្ធរាវរកឧស្ម័នដ៏ឆ្លាតវៃ ដែលអាចកំណត់អត្តសញ្ញាណប្រភេទឧស្ម័នបានយ៉ាងរហ័ស និងត្រឹមត្រូវ ដោយហេតុនេះអាចរកឃើញការពុលនៃឧស្ម័ន។ប្រព័ន្ធ​ចាប់​សញ្ញា​ឧស្ម័ន​ដ៏​ឆ្លាតវៃ​មាន​សមាសភាព​នៃ​អារេ​ឧបករណ៍​ចាប់​សញ្ញា​ឧស្ម័ន ប្រព័ន្ធ​ដំណើរការ​សញ្ញា និង​ប្រព័ន្ធ​ទិន្នផល។ពហុភាពនៃឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នដែលមានលក្ខណៈប្រែប្រួលខុសៗគ្នាត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតអារេមួយ ហើយបច្ចេកវិទ្យាសម្គាល់លំនាំបណ្តាញសរសៃប្រសាទត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការទទួលស្គាល់ឧស្ម័ន និងការត្រួតពិនិត្យកំហាប់នៃឧស្ម័នចម្រុះ។ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ប្រភេទ ធម្មជាតិ និងជាតិពុលនៃឧស្ម័នពុល គ្រោះថ្នាក់ និងងាយឆេះត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងកុំព្យូទ័រ ហើយផែនការដោះស្រាយគ្រោះថ្នាក់ត្រូវបានចងក្រងតាមលក្ខណៈនៃឧស្ម័ន និងបញ្ចូលទៅក្នុងកុំព្យូទ័រ។នៅពេលមានឧបទ្ទវហេតុលេចធ្លាយ ប្រព័ន្ធរាវរកឧស្ម័នឆ្លាតវៃនឹងដំណើរការតាមនីតិវិធីដូចខាងក្រោមៈ
ចូលទៅកាន់គេហទំព័រ → គំរូឧស្ម័ន adsorb → ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័ន បង្កើតសញ្ញា → សញ្ញាសម្គាល់កុំព្យូទ័រ → ប្រភេទឧស្ម័នទិន្នផលកុំព្យូទ័រ ធម្មជាតិ ការពុល និងផែនការចោល។
ដោយសារតែភាពប្រែប្រួលខ្ពស់នៃឧបករណ៏ឧស្ម័ន វាអាចត្រូវបានរកឃើញនៅពេលដែលកំហាប់ឧស្ម័នមានកម្រិតទាបបំផុត ដោយមិនចាំបាច់ចូលទៅជ្រៅទៅក្នុងកន្លែងគ្រោះថ្នាក់ ដើម្បីជៀសវាងគ្រោះថ្នាក់ដែលមិនចាំបាច់ដែលបណ្តាលមកពីភាពល្ងង់ខ្លៅនៃស្ថានភាព។ដោយប្រើដំណើរការកុំព្យូទ័រ ដំណើរការខាងលើអាចត្រូវបានបញ្ចប់យ៉ាងឆាប់រហ័ស។តាមរបៀបនេះ វិធានការការពារប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពអាចត្រូវបានអនុវត្តយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងត្រឹមត្រូវ ផែនការបោះចោលត្រឹមត្រូវអាចត្រូវបានអនុវត្ត ហើយការបាត់បង់គ្រោះថ្នាក់អាចកាត់បន្ថយបានតិចតួច។លើសពីនេះទៀត ដោយសារប្រព័ន្ធរក្សាទុកព័ត៌មានអំពីលក្ខណៈនៃឧស្ម័នទូទៅ និងផែនការបោះចោល ប្រសិនបើអ្នកស្គាល់ប្រភេទឧស្ម័ននៅក្នុងការលេចធ្លាយ អ្នកអាចសួរដោយផ្ទាល់អំពីលក្ខណៈនៃឧស្ម័ន និងផែនការចោលនៅក្នុងប្រព័ន្ធនេះ។

2.2 ស្វែងរកការលេចធ្លាយ

នៅពេលដែលមានឧប្បត្តិហេតុលេចធ្លាយកើតឡើង ចាំបាច់ត្រូវស្វែងរកចំណុចលេចធ្លាយឱ្យបានឆាប់រហ័ស និងចាត់វិធានការដាក់ដោតសមស្រប ដើម្បីការពារកុំឱ្យឧបទ្ទវហេតុនេះ មានការរីករាលដាលបន្ថែមទៀត។ក្នុងករណីខ្លះ វាកាន់តែពិបាកក្នុងការស្វែងរកការលេចធ្លាយដោយសារតែបំពង់បង្ហូរប្រេងវែង ធុងកាន់តែច្រើន និងការលេចធ្លាយដែលលាក់កំបាំង ជាពិសេសនៅពេលដែលលេចធ្លាយមានពន្លឺ។ដោយសារតែការសាយភាយនៃឧស្ម័ន បន្ទាប់ពីការលេចធ្លាយឧស្ម័នចេញពីកុងតឺន័រ ឬបំពង់បង្ហូរ ក្រោមសកម្មភាពនៃខ្យល់ខាងក្រៅ និងជម្រាលនៃកំហាប់ខាងក្នុង វាចាប់ផ្តើមសាយភាយជុំវិញ ពោលគឺកាន់តែខិតទៅជិតចំណុចលេចធ្លាយ កំហាប់ឧស្ម័នកាន់តែខ្ពស់។យោងតាមលក្ខណៈពិសេសនេះ ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នឆ្លាតវៃអាចដោះស្រាយបញ្ហានេះបាន។ខុសពីប្រព័ន្ធឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឆ្លាតវៃដែលរកឃើញប្រភេទឧស្ម័ន អារេឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័ននៃប្រព័ន្ធនេះត្រូវបានផ្សំឡើងដោយឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នជាច្រើនដែលមានភាពប្រែប្រួលត្រួតស៊ីគ្នា ដូច្នេះភាពប្រែប្រួលនៃប្រព័ន្ធឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទៅនឹងឧស្ម័នជាក់លាក់មួយត្រូវបានពង្រឹង ហើយកុំព្យូទ័រត្រូវបានប្រើដើម្បី ដំណើរការឧស្ម័ន។ការផ្លាស់ប្តូរសញ្ញានៃធាតុរសើបអាចរកឃើញការផ្លាស់ប្តូរកំហាប់ឧស្ម័នយ៉ាងឆាប់រហ័ស ហើយបន្ទាប់មកស្វែងរកចំណុចលេចធ្លាយយោងទៅតាមការផ្លាស់ប្តូរកំហាប់ឧស្ម័ន។

នាពេលបច្ចុប្បន្ន ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នធ្វើឱ្យប្រព័ន្ធឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាខ្នាតតូចអាចដំណើរការបាន។ឧទាហរណ៍ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាភាគល្អិត ultrafine រួមបញ្ចូលគ្នាដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយក្រុមហ៊ុន** របស់ជប៉ុនអាចរកឃើញអ៊ីដ្រូសែន មេតាន និងឧស្ម័នផ្សេងទៀត ដែលប្រមូលផ្តុំនៅលើ wafer ស៊ីលីកុនការ៉េ 2 ម។ទន្ទឹមនឹងនោះ ការអភិវឌ្ឍន៍បច្ចេកវិទ្យាកុំព្យូទ័រអាចធ្វើឱ្យល្បឿននៃការរកឃើញនៃប្រព័ន្ធនេះលឿនជាងមុន។ដូច្នេះ ប្រព័ន្ធ​ឧបករណ៍​ចាប់​សញ្ញា​ឆ្លាតវៃ​ដែល​មាន​ទំហំ​តូច និង​ងាយ​ស្រួល​ក្នុង​ការ​យក​តាម​ខ្លួន​អាច​ត្រូវ​បាន​បង្កើត​ឡើង។ការរួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធនេះជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាសម្គាល់រូបភាពសមស្រប ការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាបញ្ជាពីចម្ងាយអាចធ្វើឱ្យវាចូលទៅក្នុងកន្លែងលាក់ខ្លួនដោយស្វ័យប្រវត្តិ កន្លែងពុល និងគ្រោះថ្នាក់ដែលមិនសមរម្យសម្រាប់មនុស្សធ្វើការ និងស្វែងរកទីតាំងនៃការលេចធ្លាយ។

3. សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

បង្កើតឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នថ្មី ជាពិសេសការអភិវឌ្ឍន៍ និងការកែលម្អប្រព័ន្ធចាប់សញ្ញាឧស្ម័នឆ្លាតវៃ ដើម្បីឱ្យពួកគេអាចដើរតួនាទីនៃការជូនដំណឹង ការរកឃើញ ការកំណត់អត្តសញ្ញាណ និងការសម្រេចចិត្តដ៏ឆ្លាតវៃក្នុងឧបទ្ទវហេតុលេចធ្លាយឧស្ម័ន ធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាព និងប្រសិទ្ធភាពនៃគ្រោះថ្នាក់លេចធ្លាយឧស្ម័ន។ ការដោះស្រាយ។សុវត្ថិភាពដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការគ្រប់គ្រងការបាត់បង់គ្រោះថ្នាក់។

ជាមួយនឹងការលេចចេញជាបន្តបន្ទាប់នៃវត្ថុធាតុងាយនឹងឧស្ម័នថ្មី ភាពវៃឆ្លាតរបស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នក៏ត្រូវបានអភិវឌ្ឍយ៉ាងឆាប់រហ័សផងដែរ។វាត្រូវបានគេជឿជាក់ថានៅពេលអនាគតដ៏ខ្លី ប្រព័ន្ធចាប់សញ្ញាឧស្ម័នឆ្លាតវៃជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាចាស់ទុំនឹងចេញមក ហើយស្ថានភាពបច្ចុប្បន្ននៃការដោះស្រាយការលេចធ្លាយឧស្ម័ននឹងប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំង។